半導(dǎo)體領(lǐng)域--美國(guó)kaydon薄壁軸承

在如今，以半導(dǎo)體制造業(yè)為代表的先進(jìn)行業(yè)的生產(chǎn)加工環(huán)境十分復(fù)雜，涉及多種因素，一是真空，許多半導(dǎo)體部件的加工都在真空環(huán)境中進(jìn)行，這就對(duì)其中運(yùn)行的軸承提出了前所未有考驗(yàn)，二是清潔，真空環(huán)境生產(chǎn)的目的就是為了清潔，所以軸承傳統(tǒng)的潤(rùn)滑方式就不再適合，三是腐蝕，半導(dǎo)體制造產(chǎn)生的雜質(zhì)中，多有酸性特征，其腐蝕性對(duì)相關(guān)環(huán)節(jié)軸承亦有較高的要求。但在半導(dǎo)體制造業(yè)中，軸承又是不可或缺的，因此這里使用的軸承就需要耐真空，更清潔，更耐用，以及更耐腐蝕。NTN開發(fā)了多種半導(dǎo)體制造業(yè)軸承專用材質(zhì)，以及多種在超高真空環(huán)境、清潔環(huán)境及腐蝕環(huán)境中使用的潤(rùn)滑劑，滿足了人們對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)中使用的軸承的期望。

這些材質(zhì)和潤(rùn)滑主要包括馬氏體不銹鋼、MoS2磷酸鹽涂層、特殊PTFE涂層、耐腐蝕涂層、陶瓷涂層等等，主要潤(rùn)滑脂包括低顆粒潤(rùn)滑脂、通用固體潤(rùn)滑脂、食品級(jí)、高溫、抗放射性潤(rùn)滑脂、導(dǎo)電潤(rùn)滑脂（EP-2）、導(dǎo)電氟潤(rùn)滑脂（EF-2）等等，正是這些新材料，支撐起了半導(dǎo)體制造業(yè)用軸承。

這些軸承按使用環(huán)境可分為三類，一是航空航天設(shè)備，真空設(shè)備用的通用真空環(huán)境用軸承，二是半導(dǎo)體制造設(shè)備，LCD面板制造設(shè)備用的清潔環(huán)境用軸承，三是金屬板蝕刻設(shè)備，顯影劑，清洗設(shè)備用的腐蝕環(huán)境用軸承，也有三種類型兼?zhèn)涞妮S承，這些軸承為半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，提供了重要的支持。