半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備專用KAYDON軸承

一、半導(dǎo)體零部件——半導(dǎo)體設(shè)備之基石

半導(dǎo)體精密零部件是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的基石。半導(dǎo)體零部件是指在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、 品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面達(dá)到半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求的零部件。上游原材料 包括鋁合金材料和部分非金屬原材料，下游應(yīng)用則涵蓋了光刻、刻蝕、清洗、薄膜沉積 等半導(dǎo)體設(shè)備。鑒于半導(dǎo)體設(shè)備廠商往往為輕資產(chǎn)模式運(yùn)營，其絕大部分關(guān)鍵核心技術(shù) 需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作為載體來實現(xiàn)，因此精密零部件對半導(dǎo)體 設(shè)備的性能至關(guān)重要。

半導(dǎo)體設(shè)備零部件參數(shù)高標(biāo)準(zhǔn)，工藝復(fù)雜。由于應(yīng)用于可靠性要求非常高的半導(dǎo)體設(shè) 備中，零部件參數(shù)往往要兼顧精度、強(qiáng)度、潔凈度、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材 料純度等復(fù)合功能要求，生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理特種工藝、 電子電機(jī)整合及工程設(shè)計等多個領(lǐng)域和學(xué)科，是半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)的直接保障。

半導(dǎo)體精密零部件種類眾多，市場較為分散。由于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)工藝復(fù)雜、種類各 異，因此精密零部件的種類繁多，主要包括機(jī)械類中的金屬工藝件、結(jié)構(gòu)件，電氣類， 機(jī)電一體類，氣體/液體/真空系統(tǒng)類，儀器儀表類，光學(xué)類等等，各個細(xì)分市場規(guī)模較 小，且不同零部件之間工作原理各異，導(dǎo)致碎片化特征較明顯。蔡司的用于 EUV 光刻機(jī)的空間成像測量系統(tǒng)（AIMS）就擁有 134 個供應(yīng)商，4500 個系統(tǒng)部件，6.4 萬個 零部件。